CMPスラリーおよびCMPパッドの粘弾性評価

測定方法：
周波数依存性測定（ずりモード）
(試料を薄めることなく、スラリー原液の分散性を評価できる)
ポイント
低周波数側の貯蔵弾性率G’は、
粒子間の相互作用（凝集状態）
に大きく依存する

測定方法：
水中温度依存性測定（引張モード）
（水中測定以外に、湿度環境測定にも対応可）
ポイント
吸水・吸湿性を有する材料では、
湿潤/ ドライ状態での粘弾性の温度依存挙動が異なる^*1

^*1： 一般に、ガラス転移温度T_g や貯蔵弾性率E’が低下する。