走査型プローブ顕微鏡 (SPM) による
半導体材料の微細構造評価

概要

近年、材料は飛躍的な進歩を遂げており、特に半導体分野においては、微細化に伴う高性能化が進んでいる。走査型プローブ顕微鏡（SPM）は、ナノスケールの微細な構造や物性を非破壊で測定・評価できる顕微鏡であり、ゲート酸化膜の表面粗さ、化学機械研磨（CMP）後の平坦性、レジスト残渣や欠陥評価など、半導体製造工程においてSPM は欠かせない存在である。

パターンウェハの表面形状評価

半導体チップの表面形状評価

→ 表面粗さの違いが糊残りに影響したことが考えられた
※糊残り解析にはXPS, TOF-SIMS などの表面成分分析との組み合わせも有効

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