概要
表面機能や接着機能を向上させる上で、表面状態を解析することは非常に重要である。表面分析装置として XPS は元素組成、化学結合情報が得られるのに対し、TOF-SIMS は元素、分子構造情報が得られる。また得られる深さ情報も異なり、前者が 5 ～ 6 nm に対し、後者は 1 ～ 2 nm となる。特徴の異なる両装置を用い、市販滑水コート剤の表面解析した事例を紹介する。
試料
市販の滑水コート剤 (市販品 A、市販品 B) を塗布したシリコンウエハ
水の滑落角 市販品 A 32°、市販品 B 61°
XPS測定
| 試料 | Atomic% | |||
|---|---|---|---|---|
| C | O | Si | Ca | |
| 市販品 A | 15.5 | 27.8 | 56.7 | ー |
| 市販品 B | 30.4 | 26.6 | 42.7 | 0.3 |
TOF-SIMS測定
解析から推測する滑水コート剤塗布イメージ
検索番号：4087
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