半導体や医療用途に使用される原料や材料は、製品化された後に微量の不純物金属が製品の不具合を発生させ、また耐久性等にも悪影響を及ぼすため、溶出金属量の低減が求められる。 ICP-MS/MS、ICP-MS およびICP-AES により、溶媒に溶出した微量金属を定性・定量的に評価できる。
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