概要
半導体の高集積化にともない、クリーン化の対象としてクリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (Airborne Molecular Contaminants：AMCs) が注目されている。
AMCs のうち「酸性・塩基性物質」と「金属成分」を、インピンジャー (捕集瓶) を用いて溶液吸収法で捕集して分析する。
分析手順
サンプリング ➡
吸収液を分析
【イオンクロマトグラフ】
酸性・塩基性物質を陰・陽イオンとして定量
【ＩＣＰ－ＭＳ】
金属成分を定量
※専用のサンプリングキットでサンプリングします
AMCs の管理レベル
| 2003年 | 2005年 | 2007年 | |
| DRAM 1/2 ピッチ (nm) | 100 | 80 | 65 |
| ウェーハ環境制御 | |||
| 問題となるパーティクルサイズ (nm) | 52 | 38 | 33 |
| 問題となるサイズ以上のパーティクルの個数 (/m3) | 3 | 2 | 1 |
| 分子状汚染物質 : AMCs (pptM) | |||
| リングラフィ : 塩基性物質 (アミン、アミド、NH3) | 750 | 750 | ＜ 750 |
| ゲート : 金属 (CU、E = 2 × 10-5) | 0.15 | 0.1 | ＜ 0.07 |
| ゲート : 有機物 (分子量 : 250以上、E = 1 × 10-3) | 80 | 60 | 50 |
| 有機物 (as、CH4) | 1440 | 1100 | ＜ 900 |
| サリサイドコンタクト : 酸性物質 (Cl-、E = 1 × 10-3) | 10 | 10 | ＜ 10 |
| サリサイドコンタクト : 塩基性物質 (NH3、E = 1 × 10-6) | 12 | 8 | ＜ 4 |
| ドーパンド (P or B) | ＜ 10 | ＜ 10 | ＜ 10 |
※E : 付着係数 The International Technology Roadmap for Semiconductors : 2001
検索番号：3003
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