ナノ薄膜の膜厚、密度、ラフネスの評価
-X線反射率法 (XRR法)-

概要


X線反射率法(XRR法)は電子デバイス等のナノメートルスケール薄膜・多層膜の厚み、密度、表面や界面のラフネスを同時に評価することができる。



特徴


  • 数 nm ～ 200 nm の膜厚を評価することができる
  • 組成が既知の場合、膜の密度を評価することができる
  • 単層膜だけでなく多層膜も評価できる
  • 半導体薄膜から超伝導、磁性体、金属、高分子薄膜まで、広い範囲の物質に適用できる
  • 結晶質、非晶質を問わない
  • 非破壊で分析できる


ナノ薄膜評価法の比較


  XRR SEM・TEM エリプソメトリ
膜厚 ◎ ○(局所、破壊) ◎
膜密度 ◎ × ×
ラフネス ◎ △（局部） △(光の透過性による)


分析例　スパッタリング法により作製したSi3N4膜の評価


解析の結果、Si3N4膜は一層ではなく、極表層に密度の低い層が存在することがわかった
これは他の分析装置では検出できず、設計時には想定していなかった層構成も明らかにできた


mcanac


検索番号：1044



本技術資料ダウンロード
お問い合わせはこちら
  • 　分析メニュー・事例



お問合せ

《CONTACT》

分析についてのご相談などお気軽にお問合せください。
弊社担当営業よりご案内させて頂きます。
WEBからのお問合せはこちらから。

  お問合せフォーム（別ウィンドウが開きます）     
📩

東日本営業グループ
TEL．0438-64-2341　FAX．0438-64-2399

〒299-0265  千葉県袖ケ浦市長浦580-32


東海営業グループ
TEL．052-587-3617　FAX．052-587-3618

〒450-0003  愛知県名古屋市中村区名駅南1-24-30
（名古屋三井ビル本館）


西日本営業グループ
TEL．06-6446-2960　FAX．06-6446-2970

〒550-0004  大阪府大阪市西区靭本町1-11-7
（信濃橋三井ビル）


西日本営業グループ（岩国営業チーム）
TEL．0827-53-9190　FAX．0827-53-8894

〒740-0061  山口県玖珂郡和木町和木6-1-2

 ▶ホーム 

 ▶プライバシーポリシー 
mcanac mci


Copyright © MITSUI CHEMICAL ANALYSIS & CONSULTING SERVICE, INC. All Rights Reserved.