概要

有機薄膜や高分子積層フィルムは使用用途に合わせて様々な機能が付与されており、その機能評価や不具合解析には 微小、微量、微薄領域 で分析できるTOF-SIMSが
非常に有効な分析手法である。
とくに低損傷イオンエッチング(GCIB)との組み合わせにより精密な深さ方向での分析が可能であることから、有機薄膜の分析やその薄膜中の微量添加物の分析にも威力を発揮する。

分析例 高分子積層フィルム(厚さ10μm)の層構造解析

市販の高分子積層フィルムの層構成および各層の組成を解析
また第1層に微量に含まれる添加剤の分布を可視化することにより解析

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