概要

大型試料仕様の測定では、ワーキングサイズ(測定装置に入れられる試料サイズ上限):70mmφ×90mm観察エリアサイズ(3D測定できるエリアサイズ上限):70mmφ×35mm程度まで観測でき、ピクセル分解能は5μm/voxcel~144μm/voxcelとなる。
電子デバイスを非破壊で観察可能であり、電池積層構造、成形品のボイドなど成形不良の解析に有効である。

分析例 スマートフォン用リチウムイオン電池の観察

・X線CTにより電極の層状構造を確認
・観察方向A:亀裂を含む不具合部はセルの横幅全域に存在
・観察方向B:亀裂に加え、電極の段差も存在
・観察方向C:電極間で厚みムラが存在

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