概要

最新型高感度EDS検出器により、低加速電圧(1kV~)でSEM-EDSの軽元素マッピングが可能になった。空間分解能が大幅に向上し、高分子などの低密度材料においても50nm以下の空間分解能で元素分布評価が可能になった。

分析例1 電子デバイス用エポキシ樹脂中のアミン系硬化剤成分

SEM像では見えない硬化剤成分の偏在がNの分布として確認された。

分析例2 Liイオン電池 正極材料のカーボンブラック(CB)とバインダーの分布

分析例3 食品包装材ガスバリア層の高分解能元素分布分析

バリア層が蒸着層(約30nm)とコート層の2層構造と確認できる。

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