概要

最新型高感度EDS検出器を導入し、低加速電圧(1kV~)でSEM-EDSの軽元素マッピングが可能となった。
空間分解能が劇的に向上し、高分子などの低密度材料においても50nm以下の空間分解能で元素分布評価ができるようになった。

通常EDSとの違い

ポールピースとサンプルとの間に検出素子があるため、従来より高角度で特性X線を取り込むことが可能

分析領域広がりの加速電圧依存性

(高分子など低密度材料の場合)

低加速電圧測定で空間分解能
と検出深さが劇的に向上

分析例 Liイオン電池 電極材料

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