概要

TOF-SIMSは表面分析法のひとつで、高感度、高空間分解能、分析深さが浅い等の特徴をもつ。表面に存在する微量成分の、分子構造に対応した分子イオンやフラグメント情報や、イメージングにより元素や分子の分布情報も得られる。

分析例 金めっき表面のしみ部

表面イメージング Au
(めっき成分)
C20H28O2
(フラックス成分)
Br
(活性剤成分)

  • 金めっき表面しみ部の二次イオンスペクトルから、めっき表面上にフラックス成分や活性剤成分が存在していることが推測される
  • また、イメージンング像から、しみ部は、めっき表面がフラックス成分や活性剤成分によって覆われていることが推測される

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