原理

固体試料表面に電子線を照射し、試料から発生するオージエ電子の運動エネルギーを検出・解析することにより、試料表面の元素/状態分析を行う。

特長

  • 極表面(数nm)、微小領域(<20nm□)の分析が可能
  • 電子線を走査し、SEM像やオージェマッピング(平面の元素分布)も得られる
  • Ar+イオンエッチング法により、深さ方向の分析(デプスプロファイル)も可能
  • 空間分解能、エネルギー分解能(ΔE/E<0.1%)共に高い

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