概要

太陽電池パネルのSi層電極付近を集束イオンビーム装置(FIB)により検体を作製し、電界放射型透過電子顕微鏡(FE-TEM)により形状観察及び元素マッピングをおこないました。

この観察からシリコンの表面形状に関する情報を得ることかできます。また、元素マッピングからシリコン表面上の酸化インジウムの製膜状態や、電極部で粒状化した銀(Ag)が樹脂(C)に覆われている様子が観察されました。

このように透過電子顕微鏡では層形成や電極の組成情報を知ることができます。

透過電子顕微鏡(TEM)による断面観察

(1)保護層

TEM像 ”O”マッピング像 ”In”マッピング像

元素マッピングから、Si層の表面に酸化インジウム層が形成されていることがわかります。

(2)電極

TEM像 ”O”マッピング像 ”Ag”マッピング像 ”C”マッピング像

元素マッピングから、電極は銀(Ag)でその周囲を炭素(C)が覆っている様子がわかります。

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