電界放出型走査型電子顕微鏡
FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscope)

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特長

最表面情報を、無蒸着でチャージアップなしで観察可能
低加速電圧(1kV)においては4.0nm、15kVにおいては1.5nmの高分解能
EDS分析装置を付属
大型ウェハーなどに対応する6インチ径の大型試料交換室

太陽電池断面
加速電圧5kV、無蒸着

PP破断面
加速電圧0.6kV、無蒸着

検索番号4005

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※東京以北:東京都北部〜千葉・北関東、北信越、東北、北海道、海外
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