原理

単波長のレーザー光と共焦点光学系
を利用し形態を観察する。

特長

  • 一般の光学顕微鏡より分解能が高い。(分解能0.18μm)
  • 深さ方向(Z)の測定が出来る。(分解能0.35μm)
  • 断層像(XZ)が得られる。
  • 3次元の形態観察が出来る。(形状測定可能)

検索番号4003

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