多層膜の金属汚染分析の前処理(層別溶解)

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概要

poly-Si膜とSiO2膜からなる多層膜において、溶解液を使い分けることによって、各層を選択的かつ均一に溶解できることを確認した。多層膜の各層の金属汚染を誘導結合プラズマ質量分析法(ICP-MS法)で分析する際の前処理として用いることができる。

観察例

・図の構成の2層膜を次の2通りで溶解した。

A: 新規開発液とフッ酸で溶解
B: フッ硝酸(フッ酸と硝酸の混合液)で溶解
※フッ硝酸はpoly-Si膜の一般的な溶解液

・溶解処理後、走査電子顕微鏡(SEM)で断面を観察し、
 走査型プローブ顕微鏡(SPM)で表面粗さを測定した。

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