高塩濃度中の微量元素の定量
概要
- CMPで使用される研磨液中の微量金属／無機元素の定量における課題は、ケイ素などの主成分（％レベル）による妨害ないし汚染です。
- 比較的汚染に強い発光分析法に発光検出のスループットを向上させた新型装置で10ppbまでの微量元素を定量いたします。
- 分析手法 誘導結合プラズマ原子発光分析法 同軸方向観測型トーチ方式
新型トーチによるスループット
- 発光プラズマの観測ゾーンを従来の点（縦型）から横（横型）にすることによって、検出器に入るフォトン量を増加させることが可能になりました。
- 自己吸収などによるバックグランドの上昇もエアーナイフにより改善する工夫が施されています。
検索番号3013
※東京以北：東京都北部〜千葉・北関東、北信越、東北、北海道、海外
東京以南：東京都南部、神奈川、静岡、山梨
なお、東京都北部、東京都南部の各エリアは東京都を中央線・総武線にて大まかに分けております。
