クリーンルーム大気の分析
(酸性・塩基性物質および金属成分の分析)

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概要

半導体の高集積化にともない、クリーン化の対象としてクリーンルーム大気中の分子状汚染物質(Airborne Molecular Contaminants:AMCs)が注目されています。

AMCsのうち「酸性・塩基性物質」と「金属成分」を、インピンジャー(捕集瓶)を用いて溶液吸収法で捕集して分析します。

分析手順

サンプリング → 吸収液を分析

【イオンクロマトグラフ】
酸性・塩基性物質を陰・陽イオンとして定量

【ICP-MS】
金属成分を定量

※専用のサンプリングキットでサンプリングします

検索番号3003

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