概要
加熱発生ガスの評価には、様々な手法がある。
分析の目的、試料の材質や形状等に合わせて最適な分析方法を選択することで、試料から発生する種々のガス成分を定性定量することができる。
※以下の表は横にスクロールします。
| 分類 | 手法 | 感度 | 温度範囲（℃） | 試料形状 | 測定例 |
|---|---|---|---|---|---|
| 定性定量 | ヘッドスペース－ＧＣ／ＭＳ | ％ｐｐｍ | ５０～１９０ | 液固 |
高分子の加熱発生ガス分析 残留溶媒の分析 |
| ＴＣＴ－ＧＣ／ＭＳ | ｐｐｍ ｐｐb | ～３５０ | 気固 | ||
| ＴＤＳ－ＭＳ | ｐｐｍ | ～１０００ | 固 | ウエハの加熱発生ガス 高分子の加熱発生ガス |
|
| 分解・定性 | 熱分解－ＧＣ／ＭＳ | ｐｐｍ | ～８００ （１６０～１０４０） |
液固 | 高分子の組成分析 |
| ＴＧ－ＧＣ／ＭＳ | ％ | ～９００ | 固 | 分解成分の重量変化と定性 | |
| ＴＧ－ＭＳ | ％ | ～９００ | 固 | 分解成分の重量変化と温度プロファイル | |
| ＥＧＡ－ＭＳ | ｐｐｍ | ～８００ | 液固 | 分解成分の温度プロファイル |
※検出感度は試料の状態やガスの発生状況によって変化
検索番号2017