概要

加熱発生ガスの評価には、様々な手法がある。
分析の目的、試料の材質や形状等に合わせて最適な分析方法を選択することで、試料から発生する種々のガス成分を定性定量することができる。

※以下の表は横にスクロールします。

分類 手法 感度 温度範囲(℃) 試料形状 測定例
定性定量 ヘッドスペース-GC/MS %ppm 50~190 液固 高分子の加熱発生ガス分析
残留溶媒の分析
TCT-GC/MS ppm ppb ~350 気固
TDS-MS ppm ~1000 ウエハの加熱発生ガス
高分子の加熱発生ガス
分解・定性 熱分解-GC/MS ppm ~800
(160~1040)
液固 高分子の組成分析
TG-GC/MS ~900 分解成分の重量変化と定性
TG-MS ~900 分解成分の重量変化と温度プロファイル
EGA-MS ppm ~800 液固 分解成分の温度プロファイル

※検出感度は試料の状態やガスの発生状況によって変化

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