概要
加熱発生ガスの評価には、様々な手法がある。
分析の目的、試料の材質や形状等に合わせて最適な分析方法を選択することで、試料から発生する種々のガス成分を定性定量することができる。
※以下の表は横にスクロールします。
分類 | 手法 | 感度 | 温度範囲(℃) | 試料形状 | 測定例 |
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定性定量 | ヘッドスペース-GC/MS | %ppm | 50~190 | 液固 |
高分子の加熱発生ガス分析 残留溶媒の分析 |
TCT-GC/MS | ppm ppb | ~350 | 気固 | ||
TDS-MS | ppm | ~1000 | 固 | ウエハの加熱発生ガス 高分子の加熱発生ガス |
|
分解・定性 | 熱分解-GC/MS | ppm | ~800 (160~1040) |
液固 | 高分子の組成分析 |
TG-GC/MS | % | ~900 | 固 | 分解成分の重量変化と定性 | |
TG-MS | % | ~900 | 固 | 分解成分の重量変化と温度プロファイル | |
EGA-MS | ppm | ~800 | 液固 | 分解成分の温度プロファイル |
※検出感度は試料の状態やガスの発生状況によって変化
検索番号2017