微小空間内面のアウトガス分析

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概要

半導体製造プロセスでは、ウェハやマスクなどを搬送するためFOUPやSMIFなど各種の樹脂製容器を使用している。特に微小な容器内面から発生する有機ガス成分を分析するために新しいコンセプトの捕集体※1を開発した。

捕集法: パッシブ法(捕集体を分析対象物の中に置いて密閉状態で放置し捕集する)
分析機器: 加熱脱着-GC-MS
感度: 0.1ng(トルエン換算)

※1 特許出願中

特長

  • 高さ4mm程度の微小空間内面の部材から発生するガス成分を分析できる。
  • 障害となるバックグラウンドピークがない。
  • 低沸成分から高沸成分まで高感度で分析できる。

測定例 容器内面から発生するアウトガスとブランクの分析結果

検索番号2009

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