概要

nano IRの空間分解能(約100nm)を利用することで、従来の構造解析手法では困難と
されていた厚さ数100nmのプライマー層の組成分析を可能とした。

原理

nano IRでは赤外吸収による熱膨張に伴う変位を検出し、100nm程度の分解能で組成分析とその分布を明らかにする

分析例 光学レンズ表面プライマー層の組成分析

光学レンズ表面コートに存在する厚さ560nmのプライマー層を分析し、組成をウレタン変性アクリレートと推定した

nano IRスペクトル

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