ナノインデンテーションによる表面ヤング率の測定

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概要

走査ﾌﾟﾛｰﾌﾞ顕微鏡(SPM)の探針にﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞ圧子を用い、荷重と圧子の試料中への進入深さの関係を測定解析することにより表面ヤング率を測定することが出来る。

■装置	■適用
Ｈｙｓｉｔｒｏｎ社製Ｔｒｉｂｏｓｃｏｐｅ最小検出荷重0.1uN	フィルムに蒸着した金属膜などのヤング率を評価できます。

金属類の測定結果:　弊社にてSPMを用いて求めた金属や石英の値(ヤング率)は、文献値(バルクな物性値)と極めてよく一致しております。 1) International Tables of Selected Constants,16,Metals International Critical Tables,Vol.Ⅲ

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