ナノスクラッチ測定法

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概要

薄膜に対し、ダイヤモンド製の圧子を用いて、鉛直下方に微小荷重を加えながら、同時に、水平方向に引掻き(スクラッチ)動作を行う。その際の薄膜の抵抗値などのデ-タから、耐引掻き強さ等を評価する。
具体的に得られるデ-タは、圧子の縦変位・横変位・縦荷重・横荷重および摩擦係数(Friction)であり、これらから、耐引掻き強さ・密着性等の評価・比較が可能である。

特長

従来の引掻き評価では対応不可能である様な薄い膜に対して、引掻き特性の評価を行える。

測定仕様

最大押しこみ荷重:<10mN
最大縦変位:5μm 最大横変位:10μm

Au薄膜スクラッチ時のFriction変化デ-タ
膜厚相当の位置で変化が見られる。Friction変化位置での横荷重比較にて、膜の耐引掻き特性の比較が可能である。

Au薄膜のスクラッチ跡
膜厚:約220(nm)

検索番号6A006

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