コーティング処理面における水の滑落性評価
−化学力顕微鏡(CFM)−

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概要

材料表面の評価方法は水の接触角や、表面粗さ測定、化学結合状態分析等があげられる。弊社では、走査プローブ顕微鏡(SPM)による微小領域での各種表面物性評価もラインナップしている。ここでは化学力顕微鏡(CFM)を水の滑落性評価に適用した事例を紹介する。

接触角測定、滑落角測定およびCFMについて

滑水コーティング剤を用いた評価事例

  • 試料:市販の滑水コーティング剤を塗布したシリコンウエハ(市販品A、市販品B)
  • 従来法による測定:平板上に滴下した水滴の接触角および滑落角を測定
  • CFM測定:親水化処理した探針を用いて室温で測定

図1:水接触角はほぼ同程度だが水の滑落性が試料間で異なる
図2:滑落角と摩擦力(親水基との相互作用の強さ)に相関あり

CFMは、材料の微小領域での親水性・疎水性の評価に加え、水滑落性の不良解析にも適用できる

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