三次元形態観察と画像解析
3D-TEM、3D-SEM、X線CT

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概要

材料の立体構造(分散状態、接合状態、欠陥等)を三次元で観察が可能。三次元形態情報に加え、画像解析により長さ、粒子径、分布、体積、表面積、フィラー間距離等の定量的評価もできる。 弊社は試料サイズ、目的に対し最適な装置で対象物を三次元で可視化する。

X線CT分析の分解能と対象サイズ

  3D-TEM 3D-SEM X線CT
測定領域 nm~μm μm~数+μm 数+μm~cm
三次元
再構築法
超薄切片を傾斜させながら
透過電子像を撮影
これらの画像を再構築
イオンビームで作製した断面を
SEMにより撮影
この繰り返しで得た画像を再構築
入射X線に対し、様々な角度で
透過X線像を撮影
これらの画像を再構築
特徴 ・ナノオーダーの精緻な像取得 ・ミクロンオーダーでの広域観察
・クライオ加工による試料ダメージ軽減
非破壊測定
対象例 ・触媒の担持金属の分散状態
・アロイ相構造の分散、界面状態
・ポリマー中のナノ粒子分散状態
・異種材料接合界面
・LiB電極内部の空隙状態
・微多孔膜
・金属の結晶粒のサイズ観察
・ワイヤーボンディング接合面の立体観察
・繊維強化樹脂のフィラー分散状態
・リチウムイオン電池内部構造
・成形品内ボイド

検索番号4074

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