表面粗さ測定法

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概要

表面形状の違いは、接着性、光沢、摺動性など物性に大きく影響することがある。一方、表面形状測定装置には様々な方式がある。形状測定の目的や想定されるサイズに適した装置を選択することで、物性と相関のある構造情報を得ることができる。

各装置の特徴

  走査型
プローブ゙顕微鏡
(SPM)
非接触型
干渉顕微鏡
(WYKO)
レーザー顕微鏡 表面粗度
(接触針法)
分解能
Z(高さ)
X,Y(平面)
Z:0.01nm
X,Y:0.2nm
Z:0.1nm
X,Y:1μm程度
Z:5nm
X,Y:120nm
Z:0.02μm1)
X (横方向):0.1μm
測定領域 XY
0.5×0.5μm
~150×150μm
XY
0.06×0.04mm
~4.9×3.7mm
XY
16×16μm
~640×640μm2)
X
0.15~150mm
送りピッチ(Y方向)
1μm~10mm
最大可動
Z(高さ)
15μm 1mm 1mm 400μm
特徴
  • 高分解能(Åオーダー)
  • 広範囲・凹凸の大きい試料は測定不可
  • 非接触測定
  • 広範囲・凹凸の大きい試料も測定可能
  • 急峻な形状には不向き
  • 非接触測定
  • 急峻な形状測定に強い、 XY分解能が高い(WYKOに比べ)
  • Z分解能が低い・測定面積が狭い(WYKOに比べ)
  • 国際規格に準拠している(JIS,ISO)
  • 接触針により表面が傷つく

1) Z に関しては800μm計測時の分解能 Xは100mm 計測時の分解能(倍率により変動)
2) 貼り合わせによる拡大可能

測定事例

WYKOによるPEフィルム観察 広域で測定することで微細構造とともにうねりの情報も得られる

レーザー顕微鏡によるテープ粘着剤形状観察 非接触であるため軟らかい試料でも非破壊観察&表面反射率が高くないサンプルでも無蒸着で観察

検索番号4040

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