X線光電子分光装置
XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)

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原理

固体試料表面にX線を照射した時に試料から発生する光電子エネルギーにより、試料表面(深さ数nm)の元素の定性/定量/状態分析を行う。

ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)とも呼ばれる。
通常の分析範囲はmmφオーダーだが、これを数十μmφ程度に絞り込めるものを、特にμ-XPSと称す。

特長

  • 化学結合の状態分析
  • 元素/化学状態の2次元マッピング
  • 微小領域(最小50mmf)の分析
  • 角度分解法による深さ方向の分析
  • CCDカメラ、電子フラッド銃によるセットアップ観察

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