有機ELパネルの断面観察

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概要

有機ELパネルは、ガラス基板、透明導電膜、有機層(ホール輸送層、発光層、電子注入層など)、金属電極などから構成されています。FIB-TEM(収束イオンビームによる薄片の作成と透過電子顕微鏡による観察)を用いることでこれらの層を観察することができます。

観察例

有機ELパネルの断面観察

断面TEM観察から、有機層が複数の層で構成されているのが分かります。また、金属電極の結晶粒界が認められます。

不良デバイス等では、FIBで不良部分を局所的に断面加工することにより、どのプロセスに問題があるのか推定することができます。

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