原子間力顕微鏡による液晶素子の形態観察

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概要

原子間力顕微鏡(AFM)を用いて液晶セル作成プロセスの各段階で表面の微細形状を観察します。

分析試料
①ガラス基板上にスパッタ法で形成した透明電極(ITO)
②ITO上にスピンコート法で形成したポリイミド薄膜
③ポリイミド膜を一定条件でラビング処理した配向膜
分析手法
AFMの非接触モード(タッピング)で表面ダメージを与えずに形状をトレースします。

作成プロセス

観察結果

検索番号4004

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