多層膜の金属汚染分析

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概要

多層膜を1層ずつ溶解して、各層の金属汚染を分析する

  • 分析法:誘導結合プラズマ質量分析法(ICP-MS法)
  • 検出レベル:5×108atoms/c?
ポイント
処理液の種類・濃度を最適化し、多層膜を1層ずつ溶解する技術を開発
内部標準法による高感度定量を実現

解析例:軟質ウレタンフォーム

Al ← 処理液 A
SiO2 ← 処理液 B
poly-Si ← 処理液 C
SiO2 ← 処理液 B
Siウェーハ ・材料に応じた処理液を選択し、1層ずつ溶解する
・処理液には内部標準を添加しておく
 

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