顕微赤外分光分析(顕微IR)
Micro InfraRed Spectrometer

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原理と特徴

赤外線を試料に集光し、測定部位をアパーチャーで絞り、高感度半導体検出器で吸収光(透過または反射光)を検知します。

微小領域について、主に有機構造に関する情報が赤外吸収スペクトルとして簡便に得られます。

測定最小領域は10μm四方(ATRでは30μm四方)で、透過法・(正)反射法・多重反射(ATR)法の測定が可能です。また、ATR法ではプラスチックの他、紙・ガラス・単繊維などの表面を非破壊で測定できます。

装置概略図

分析例1

ポリカーボネート中の 三日月状異物

多重反射(ATR)法による赤外分光分析チャート

写真中の三日月状異物とベース部分のポリカーボネートを多重反射(ATR)法で測定した結果、この三日月状異物は芳香族ポリイミドであることがわかりました。

分析例2

シリコン基板上の異物

反射法による赤外分光分析チャート

写真中央の異物を反射法で測定した結果(チャート内「異物A」部分)、添加剤であることがわかりました。また、写真にはありませんが別の異物を同じ方法で測定した結果(チャート内「異物B」部分)、皮膚角質(垢) であることがわかりました。

検索番号1008

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